GZK512/GZK712 高真空電磁閥全場(chǎng)景應(yīng)用解決方案-無(wú)錫市華通氣動(dòng)制造有限公司-氣動(dòng)元件，電磁閥，氣缸，氣動(dòng)壓力機(jī)，氣源處理元件供應(yīng)商可為您提供非標(biāo)定制及氣動(dòng)技術(shù)支持

GZK512/GZK712 高真空電磁閥全場(chǎng)景應(yīng)用解決方案

GZK系列高真空電磁閥產(chǎn)品介紹

GZK512/GZK712系列高真空電磁閥是華通氣動(dòng)自主研發(fā)的高品質(zhì)產(chǎn)品，完全對(duì)標(biāo)進(jìn)口系列，安裝尺寸100%兼容，性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、鋰電等高端制造領(lǐng)域，為客戶提供穩(wěn)定可靠的真空與氣體控制解決方案。

GZK512 系列高真空電磁閥

40mm幅寬緊湊型設(shè)計(jì)，通徑涵蓋φ4.5、φ6等多種規(guī)格，屬于通電時(shí)打開型(NC)，通過(guò)CE認(rèn)證，適用于多種高真空與惰性氣體精確控制場(chǎng)景。

? 適用流體：空氣、真空、惰性氣體
? 耐壓力可達(dá)5.0MPa
? 泄漏率≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)
? 200萬(wàn)次超長(zhǎng)使用壽命
? 多種連接方式：JXR公接頭、雙卡套、NPT/RC螺紋

GZK712 系列高真空電磁閥

70mm幅寬大口徑設(shè)計(jì)，通徑有φ12和φ15兩種規(guī)格，屬于通電時(shí)打開型(NC)，配管口徑法蘭φ52，符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)，專為大流量真空及惰性氣體控制設(shè)計(jì)。

? 適用流體：真空及惰性氣體
? Cv值最高可達(dá)4.7，流量大
? 泄漏率≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)
? 多種電壓規(guī)格：AC100V、AC200V、DC24V
? 連接方式：法蘭φ52、VCR接頭

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產(chǎn)品實(shí)物展示

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

華通氣動(dòng)憑借六十余年氣動(dòng)元件研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，打造出性能卓越、品質(zhì)可靠的高真空電磁閥產(chǎn)品，已服務(wù)全球10000+工程師和30+行業(yè)頭部客戶。

【卓越密封】

閥座泄漏和外部泄漏均控制在1.0×10?? Pa·m3/s(He)以下，有效防止流體泄漏，確保系統(tǒng)真空度和氣體純度。

【超長(zhǎng)壽命】

可承受200萬(wàn)次開關(guān)循環(huán)，比傳統(tǒng)產(chǎn)品提升40%，大幅降低更換頻率和維護(hù)成本，提高設(shè)備稼動(dòng)率。

【低耗節(jié)能】

優(yōu)化的電磁線圈設(shè)計(jì)，長(zhǎng)時(shí)間通電工況下節(jié)能效果顯著，減少能源消耗，降低系統(tǒng)運(yùn)行成本。

【自由安裝】

可根據(jù)安裝空間任意方向安裝，有效節(jié)省設(shè)備空間，便于系統(tǒng)集成和現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試。

【多樣連接】

提供雙卡套接頭、NPT/RC螺紋、法蘭連接、VCR接頭等多種選擇，滿足不同行業(yè)和設(shè)備的連接需求。

【高潔凈度】

潔凈度符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，閥體采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，適用于半導(dǎo)體、鋰電等高潔凈要求行業(yè)。

我們的工程師將在2小時(shí)內(nèi)為您提供專屬技術(shù)支持，立即咨詢

八大核心應(yīng)用場(chǎng)景

GZK512/GZK712系列高真空電磁閥適用于多種高端制造領(lǐng)域，為不同行業(yè)提供專業(yè)可靠的真空與氣體控制解決方案。

1. 半導(dǎo)體制造行業(yè)

半導(dǎo)體芯片制造的所有核心工藝都在高真空/超高真空環(huán)境下進(jìn)行，對(duì)閥門的密封性能、潔凈度和可靠性要求極高。GZK系列閥門憑借卓越的性能，成為半導(dǎo)體設(shè)備的理想選擇。

核心應(yīng)用環(huán)節(jié)：

離子注入機(jī)：GZK512用于工藝氣體(磷烷、砷烷)的精確通斷控制
薄膜沉積設(shè)備(PVD/CVD)：GZK712用于反應(yīng)腔室與真空泵組之間的隔離
干法刻蝕設(shè)備：控制刻蝕氣體(Cl?、CF?)的通入路徑
晶圓傳輸系統(tǒng)：隔離不同真空腔室，防止交叉污染

2. 新能源光伏行業(yè)

光伏電池生產(chǎn)中的薄膜沉積、擴(kuò)散、刻蝕等關(guān)鍵工藝都需要高真空環(huán)境。GZK系列閥門憑借高可靠性和長(zhǎng)壽命，能夠滿足光伏行業(yè)大規(guī)模、連續(xù)化生產(chǎn)的需求。

核心應(yīng)用環(huán)節(jié)：

PERC電池背鈍化鍍膜：GZK512用于氧化鋁薄膜沉積過(guò)程中的氣體流量控制
TOPCon電池硼擴(kuò)散工藝：控制硼源氣體的通入與切斷
HJT電池PECVD設(shè)備：GZK712用于硅片表面非晶硅薄膜沉積的真空系統(tǒng)控制
光伏玻璃鍍膜：控制氬氣等惰性氣體的通入量

3. 鋰離子電池制造行業(yè)

鋰電池生產(chǎn)中的多個(gè)關(guān)鍵工藝都依賴真空技術(shù)。GZK系列閥門的金屬污染控制特性可有效防止電池自放電率升高，提升電池循環(huán)壽命和安全性。

核心應(yīng)用環(huán)節(jié)：

極片真空干燥：GZK712用于真空干燥箱的抽氣與隔離
電解液真空注入：GZK512用于注液機(jī)的真空系統(tǒng)控制
化成與脫氣：抽取鋰電池化成過(guò)程中產(chǎn)生的氣體
真空封裝：在電池最后封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)高效真空封裝

4. 高純氣體系統(tǒng)應(yīng)用

高純氣體(電子特氣、高純氮、高純氬等)的輸送和分配系統(tǒng)對(duì)閥門的密封性能和潔凈度要求極高。任何微小泄漏都會(huì)導(dǎo)致氣體純度下降，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

核心應(yīng)用場(chǎng)景：

電子特氣輸送系統(tǒng)：適用于硅烷、磷烷等高危電子特氣的輸送控制
半導(dǎo)體廠中央供氣系統(tǒng)：用于氣體分配箱(VMB/VMP)中的支路控制
實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)：為分析儀器提供安全可靠的氣體
氣體純化設(shè)備：控制純化過(guò)程中的氣體流向

5. 盾構(gòu)機(jī)高純氣體系統(tǒng)

盾構(gòu)機(jī)施工中的氮?dú)庀到y(tǒng)是關(guān)鍵的安全與輔助系統(tǒng)。GZK系列閥門的高可靠性和快速響應(yīng)能力，能夠在惡劣的施工環(huán)境下穩(wěn)定工作。

土倉(cāng)惰化與防爆：控制高純氮?dú)庾⑷胪羵}(cāng)，消除爆炸風(fēng)險(xiǎn)
土壓平衡調(diào)節(jié)：幫助精確穩(wěn)定地調(diào)節(jié)土倉(cāng)壓力
帶壓作業(yè)生命支持系統(tǒng)：用于氦氮氧"三元混合氣"的配比與輸送

6. 流化床反應(yīng)器系統(tǒng)

流化床反應(yīng)器廣泛應(yīng)用于化工、制藥、材料等行業(yè)。GZK系列閥門適用于流化床系統(tǒng)中的真空取樣、添加劑抽吸等環(huán)節(jié)。

真空取樣系統(tǒng)：GZK512用于氣液固三相同時(shí)取樣裝置
添加劑抽吸系統(tǒng)：控制真空設(shè)施與添加劑儲(chǔ)料斗之間的連接
反應(yīng)氣氛控制：調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的通入量和流向

7. 真空鍍膜行業(yè)

真空鍍膜技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、裝飾、工具等領(lǐng)域。GZK系列閥門的快速動(dòng)作特性可精準(zhǔn)控制鍍膜厚度和均勻性。

磁控濺射鍍膜：控制氬氣等工作氣體的通入量
電子束蒸發(fā)鍍膜：用于真空系統(tǒng)的抽氣與隔離
光學(xué)鍍膜：精確控制多種鍍膜材料氣體的流量

8. 科研與其他應(yīng)用

GZK系列高真空電磁閥憑借穩(wěn)定可靠的性能，也廣泛應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)、真空熱處理、生物醫(yī)藥等多個(gè)領(lǐng)域。

大型科研設(shè)施：同步輻射光源、粒子加速器真空系統(tǒng)
航空航天：部件真空淬火、粉末冶金燒結(jié)
生物醫(yī)藥：真空冷凍干燥機(jī)、無(wú)菌灌裝設(shè)備

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技術(shù)參數(shù)

GZK系列高真空電磁閥提供多種規(guī)格選擇，滿足不同行業(yè)和應(yīng)用的需求，支持非標(biāo)定制。

GZK512系列技術(shù)參數(shù)

參數(shù)項(xiàng)目	GZK512-4.5	GZK512-6
通徑(mm)	4.5	6
幅寬(mm)	40
Cv值	0.6	1.05
使用壓力范圍(abs)	1.0×10??~0.8×10?Pa	1.0×10??~0.3×10?Pa
最高工作壓力差	0.8MPa	0.3MPa
背壓(MPa)	0.2	0.15
泄漏率	≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)
耐壓力	5.0MPa
流體溫度	5~55℃
環(huán)境溫度	0~55℃(不得凍結(jié))
額定電壓	DC24V
功耗	11.8W	11.5W
絕緣等級(jí)	B級(jí)(130)
使用壽命	200萬(wàn)次
閥體材質(zhì)	SUS304/SCS13
密封材質(zhì)	FKM(氟橡膠)，可定制全氟醚橡膠
連接方式	JXR公接頭、雙卡套、NPT/RC螺紋
重量(kg)	0.69

GZK712系列技術(shù)參數(shù)

參數(shù)項(xiàng)目	GZK712-12F-12B	GZK712-12F-12H	GZK712-15F-15B	GZK712-15F-15H
通徑(mm)	12		15
幅寬(mm)	70
Cv值(直管)	3.2		4.3
Cv值(L方向)	3.6		4.7
使用壓力范圍(abs)	1.3×10??~1.5×10?Pa	1.3×10??~3.0×10?Pa	1.3×10??~1.0×10?Pa
最高工作壓力差	0.15MPa	0.3MPa	0.1MPa
背壓(MPa)	0.1		0.02/0.1
泄漏率	≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)
耐壓力	0.5MPa
流體溫度	5~55℃
環(huán)境溫度	0~55℃(不得凍結(jié))
額定電壓	AC100V、AC200V(50/60Hz)、DC24V
功耗	AC:32.5W DC:40W
絕緣等級(jí)	B級(jí)(130)	H級(jí)(180)	B級(jí)(130)	H級(jí)(180)
使用壽命	200萬(wàn)次
閥體材質(zhì)	SCS13
密封材質(zhì)	FKM(氟橡膠)，可定制全氟醚橡膠
連接方式	法蘭φ52、VCR接頭
重量(kg)	2.0

選型指南

GZK512系列推薦應(yīng)用

半導(dǎo)體離子注入機(jī)氣體控制
鋰電池電解液真空注入
高純氣體小流量控制
流化床真空取樣系統(tǒng)
實(shí)驗(yàn)室分析儀器氣路

GZK712系列推薦應(yīng)用

光伏電池PECVD鍍膜設(shè)備
鋰電極片真空干燥系統(tǒng)
盾構(gòu)機(jī)氮?dú)舛杌到y(tǒng)
半導(dǎo)體PVD/CVD腔室隔離
大型真空鍍膜設(shè)備

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國(guó)產(chǎn)替代核心價(jià)值

選擇華通氣動(dòng)GZK系列高真空電磁閥，不僅能獲得國(guó)際先進(jìn)水平的產(chǎn)品性能，還能享受國(guó)產(chǎn)替代帶來(lái)的多重優(yōu)勢(shì)。

【完全兼容】

安裝尺寸、接口標(biāo)準(zhǔn)與進(jìn)口產(chǎn)品100%兼容，無(wú)需改造設(shè)備即可直接替換

【快速交付】

國(guó)內(nèi)生產(chǎn)基地，交貨周期縮短至7-15天，遠(yuǎn)優(yōu)于進(jìn)口產(chǎn)品的4-8周

【成本優(yōu)勢(shì)】

價(jià)格僅為進(jìn)口產(chǎn)品的50%-60%，大幅降低設(shè)備采購(gòu)和維護(hù)成本

【技術(shù)支持】

提供本地化技術(shù)服務(wù)，24小時(shí)響應(yīng)客戶需求，現(xiàn)場(chǎng)解決問(wèn)題

【定制服務(wù)】

可根據(jù)客戶特殊需求進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)，滿足不同行業(yè)的個(gè)性化要求

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GZK系列高真空電磁閥產(chǎn)品介紹

GZK512 系列高真空電磁閥

GZK712 系列高真空電磁閥

產(chǎn)品實(shí)物展示

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

【卓越密封】

【超長(zhǎng)壽命】

【低耗節(jié)能】

【自由安裝】

【多樣連接】

【高潔凈度】

八大核心應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造行業(yè)

核心應(yīng)用環(huán)節(jié)：

2. 新能源光伏行業(yè)

核心應(yīng)用環(huán)節(jié)：

3. 鋰離子電池制造行業(yè)

核心應(yīng)用環(huán)節(jié)：

4. 高純氣體系統(tǒng)應(yīng)用

核心應(yīng)用場(chǎng)景：

5. 盾構(gòu)機(jī)高純氣體系統(tǒng)

6. 流化床反應(yīng)器系統(tǒng)

7. 真空鍍膜行業(yè)

8. 科研與其他應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)

GZK512系列技術(shù)參數(shù)

GZK712系列技術(shù)參數(shù)

選型指南

GZK512系列推薦應(yīng)用

GZK712系列推薦應(yīng)用

國(guó)產(chǎn)替代核心價(jià)值

【完全兼容】

【快速交付】

【成本優(yōu)勢(shì)】

【技術(shù)支持】

【定制服務(wù)】

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